具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M12，非屏蔽。
检测距离：8mm。
连接方式：导线引出型。
机身材料：黄铜。
螺纹长度（总长度）：56(72)。
输出形式：NPNE5EN-Q3HHBT-W-N参数。
动作模式：NO。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂E5EN-Q3HHBT-W-N
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mmE5EN-Q3HHBT-W-N参数。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。尺寸：48×96mm。
控制输出1：电压输出(SSR驱动用)。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：4点(辅助输出1、2公共通用，辅助输出3、4公共通用)。
电源电压：AC/DC24V。
端子形状：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热断线、SSR故障检测功能：2点(三相加热器用)。
通信：RS-485。
事件输入：2点。
远程SP输入：--。
传送输出：--。
清晰易读的大屏白光PV显示。从选型到设定与操作均简单易用。
完整的I/O容量、功能和性能范围。适合更多应用。
E5AC的白光LCDPV显示屏高度约为2安装电线E5EN-Q3HHBT-W-N参数。
轻松安装CX-Thermo（另售）。
50ms高速采样周期。
型号可配备多4点辅助输出，6点事件输入，
1点传送输出和远程SP输入，适合一系列广泛的应用。
主体短小，厚度仅为60mm。
易于使用未编程通信连接到可编程逻辑控制器(PLC)。
使用部件通信将温控器互相连接。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。种类：无螺钉夹具端子台型，温度输入型。
本体：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电压输出（SSR驱动用）。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能：--。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
48×24mm的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升
提供端子台型和无螺钉夹具端子台型。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RRUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SVE5EN-Q3HHBT-W-N用户手册。
增加控制制输出ON/OFF次数计数功能，
可预防维护温控器内部继电器E5EN-Q3HHBT-W-N用户手册。
3种颜色显示切换当前值（PV）。
适用支持软件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段数字显示。
提供报警输出1点型和2点型。