增量型外径φ55高分辨率型。
增量型。
外径：φ55。
分辨率（大）：6000P/R。
电源电压：DC5V。
输出形式：电压输出。尺寸：48×48mm。
控制输出1：电流E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手册。
辅助（报警）输出：3个。
传送输出：--。
事件输入：2个。
通信：--。
断线检测：1个。
电源电压：AC100～240VE5EN-HAA2HH03B-W-FLK
可视性优异的白色PV(当前值)显示段显示使确认工作更轻松。
醒目白色+业界大显示尺寸
通过黑底白字的显示和业界大的显示尺寸实现优异可视性E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手册。
无论从哪个角度或在自然采光环境下、阴暗的现场，
均可快速、准确地确认当前值。
显示当前值(PV/白色)、目标值(SV/绿色)及程序进展情况(PRG、SEG/黄色)。
可同时查看，无需切换显示，从而提高作业效率。E3S-CD61检测方式：扩散反射型，
连接方式：导线引出型，
优越的耐水·耐油、耐冲击性实
现长距离检测尺寸：96×96mm。
种类：电源AC/DC24V用。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：输出单元方式。
控制输出2：输出单元方式。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障检测功能：单相或三相加热器用检测功能。温控器新增（高分辨率、高速、输入）型产品E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手册。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SV。
通过支持软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和）设定，
能够执行柔性的接点输出。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。E3S-LS3NWT检测方式:限定反射型。
连接方式:导线引出式。
检测距离: 10 - 60mm。
功能型:有。
输出方式：NPN输出，
稳定检测 不受孔及切口的影响晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂脂E5EN-HAA2HH03B-W-FLK使用说明书E5EN-HAA2HH03B-W-FLK使用说明书。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。