晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5AN-HAA3BFMD-500手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE5AN-HAA3BFMD-500E32-DC200E种类：标准型；标准，
特长：M3螺钉（小型），
弯曲半径(mm):R10。
标准检测物体(小检测物体)(mm) 1：(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元激光光束可变！
配合工件可选择光点·区域3 种变化的
光学结构
可绰绰有余的检测长距离1000mm
(扩散反射型)E5AN-HAA3BFMD-500手册。
装载焦点可变构造&光轴可调构造。
现场装备了检测时易于识别的发光式大型动作显示灯。
传感器探头部通过接插件化使连接更为简单。E32-D21种类：标准型；耐曲折，
特长：M3螺钉（小型），
弯曲半径(mm):B；R4。
标准检测物体(小检测物体)(mm) 1：(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元检测方式:扩散反射型.
检测距离:100mm.
用途：侧视式，
小型;薄型探头省空间
带有能紧密安装的干扰驱动用)E5AN-HAA3BFMD-500手册。
辅助输出：4点(辅助输出1、2公共通用，辅助输出3、4公共通用)。
电源电压：AC/DC24V。
端子形状：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热断线、SSR故障检测功能：2点(三相加热器用)。
通信：RS-485。
事件输入：2点。
远程SP输入：--。
传送输出：--。
清晰易读的大屏白光PV显示。从选型到设定与操作均简单易用。
完整的I/O容量、功能和性能范围。适合更多应用。
E5AC的白光LCDPV显示屏高度约为25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信转换线（另售）连接至电脑上来建立控制器而不需要为电源安装电线。
轻松安装CX-Thermo（另售）。
50ms高速采样周期。
型号可配备多4点辅助输出，6点事件输入，
1点传送输出和远程SP输入，适合一系列广泛的应用。
主体短小，厚度仅为60mm。
易于使用未编程通信连接到可编程逻辑控制器(PLC)。E5AN-HAA3BFMD-500使用说明书。
使用部件通信将温控器互相连接。
新型位置比例控制型号号使您还可以控制阀门E5AN-HAA3BFMD-500使用说明书。E32-D21B种类：标准型；耐曲折，
特长：M4螺钉（小型），
弯曲半径(mm):B；R4。
标准检测物体(小检测物体)(mm) 1：(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元