晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5ER-Q43B-FLK原理及应用。
使用环保导线（无滑石粉）。尺寸：48×96mm。
种类：电源AC/DC24V用。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：位置比例用继电器输出E5ER-Q43B-FLK
控制输出2：位置比例用继电器输出。
控制模式：位置比例控制。
辅助输出点数：2点。
事件输入点数：4点。
传送输出：传送输出（专用端子）E5ER-Q43B-FLK原理及应用。
远程SP：4～20mA输入。
通信：--。
通用温控器新增（高分辨率、高速、输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SV。
通过支持软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和障E5ER-Q43B-FLK原理及应用。
备有位置比例型。E3F3-T86M检测方式：对射型，
导线引出式：M12 CN，
类型：金属外表；PNP输出，
螺纹柱状光电传感器，放大器内置，
具备接近传感器外观的光电传感器
具有光电-IC技术的高抗干扰性尺寸：48×96mm。
种类：铂电阻型。
调节模式：ON/OFF动作或PID动作。
警报：单报警报。
输出：继电器输出。
带单报警输出的温度控制器。
可同时显示SV与PV。
多重温度范围允许设定佳温度范围。
保护功能可以防止操作上的错误。尺寸：48×48mm，端子台型。
种类：控制输出1点型（电源AC/DC24V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电压输出（SSR驱动用）。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器断线、 SSR故障检测功能：--。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
新增程序型。
采用大256段程序容量，较高性价比的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
可设定多8个程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位显示/可显示0.01°C（实现了48×48mm的小尺寸）。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），
1台机器支持多种传感器。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RRUN/RESET、报警发生），
可交互显示PV/SVE5ER-Q43B-FLK用户手册。
通过支持持软件（CX-Thermo Ver.4.3），
在简易运算功能（AND/OR逻辑和）E5ER-Q43B-FLK用户手册。
设定中轻松设定能够执行柔性的接点输出的程序设定。
控制输出ON/OFF次数计数功能可预测温控器内部继电器的故障。