光学系统：漫反射型。
检测距离：130正负15mm。
光束形状：线光束。
光束直径：600mm×70µm。
分辨率：3µm。
电缆长度：2m。ZFV-R5015传感器头：宽视野，
放大器单元：单一功能，
型号：PNP
通过智能传感器与视觉技术的结合
来拓宽视野监测2波长的等离子发光量ZEN-BAT01怎么安装。
实现了、小型化、低价格ZEN-BAT01
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。分类：高灵敏度ZEN-BAT01怎么安装。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：面板安装柱塞型，OP中。
端子的种类：螺丝端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。内置开关：SPDT(AC)。
驱动杆：一般型，滚珠臂摆杆型。
导管/接地端子：G 1/2/无接地端子。
安装：直角侧面安装。
具有高断路容量和高耐用性的一般型封闭式开关。
Z一般型基础开关内置到ZE、ZV和ZV2开关中。它们提供了高断路容量和装方法（侧面、基座和直角侧面）及许多类型的驱动杆ZEN-BAT01怎么安装。
保护盖取下后，内藏开关的端子在正面，易于连接。
带接地端子的开关具有CE标志。
通过UL、CSA和CCC （中国标准）规格认证。 光学系统：漫反射型。
检测距离：200正负50mm。
光束形状：线光束。
光束直径：900mm×100µm。
分辨率：5µm。
电缆长度：0.5m。空气净化单元。
适用：250mm。
电源规格：空气净化单元供电。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸。空气净化单元。
适用：410mm。
电源规格：空气净化单元供电。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸。ZX-LD40L光学方式:扩散方式，
光束形状：线光束，
分辨率：2μm。
小巧的机身中装载各种智能功能
备有各种激光型分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：面板安装滚珠柱塞型。
端子的种类类：螺丝端子ZEN-BAT01用户手册。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达155A，且精度高ZEN-BAT01用户手册。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。