内置开关：SPDT(AC)。
驱动杆：密封型（靴保护），密封滚珠臂摆杆型。
导管/接地端子：G 1/2/无接地端子。
安装：直角侧面安装。
具有高断路容量和高耐用性的一般型封闭式开关ZG2-DSU41基础知识。
Z一般型基础开关内置到ZE、ZV和ZV2开关中。它们提供了高断路容量和高耐用性。
带磁吹的X基础开关内置到XE、XV和XV2开关中ZG2-DSU41该系列还增加了DC型号。
提供了三种安装方法（侧面、基座和直角侧面）及许多类型的驱动杆。
保护盖取下后，内藏开关的端子在正面，易于连接。
带接地端子的开关具有CE标志ZG2-DSU41基础知识。
通过UL、CSA和CCC （中国标准）规格认证。 监测2波长的等离子发光量。
实现了、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。电源电缆。
种类：双头接插件型（附带1个铁氧体磁芯(φ30 × 39mm)）。
电缆长度：5m。
同级高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。品名：工作站部。
电源：电池/DC电缆。
测量清洁室及工作间的内外压差。
大量程测量。

用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据ZG2-DSU41基础知识。分类：高灵敏度。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：针状柱塞型。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。分类：微小负载。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：弹簧细柱塞型。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接接触型、维持接触型等丰富品种ZG2-DSU41使用说明书。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型ZG2-DSU41使用说明书。光学系统：漫反射型。
检测距离：130正负15mm。
光束形状：线光束。
光束直径：600mm×70µm。
分辨率：3µm。
电缆长度：2m。