种类：带端子块的控制器。
尺寸：1/4DIN，96×96×78mm。
电源电压：AC100～240V。
输入种类：热电偶或铂电阻。
报警输出：3点。
控制输出：电压输出（用于驱动SSR）E5CN-HTQ2H03D-FLK手册。
加热器断线：--。
安装可选单元：有。
畅销的多用途温控器现在更为出众。
温控器现在可进行模拟输入。
更快速的采样速度250msE5CN-HTQ2H03D-FLK
提供传送输出，可简单输出到记录器。
带有回路断开报警（LBA）和加热器短路报警（HS报警）的型号可选E5CN-HTQ2H03D-FLK手册。
简单设置11段显示屏。
配备了手动输出功能。
带通信的型号安装新协议Modbus。
USB串行转换电缆可选。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D：φ1mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：一般用。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 ：φ1mmE5CN-HTQ2H03D-FLK手册。
保护管长度L：20cm。
导线种类：耐热用。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。本体：DeviceNet型。
尺寸：96×96mm。
类型：4输入型。
控制模式：4通道标准控制/2通道加热冷却控制。
输出（控制/传送）点数：4点（电流4点）。
输助输出（SUB）点数：4点。
事件输入点数：--。
高速、及多重输入输出的通用型数字调节仪，
采用高可视性5位、3行液晶显示器。
高速采样周期适用于要求高速响应的操作。
利用带背光液晶显示器及3行显示，可同时显示当前值、目标值、操作量。
1台数字调节仪可进行多点控制/串联控制/比例控制。
标准配备了各种运算功能。
配备DeviceNet通信功能。
借助通信程序可执行数据设定和数据。尺寸：22.5×96mm。
控制输出：线性电流输出。
辅助输出点数：2点。
HB报警和HS报警：单相加热器检测。
事件输入点数：--。
通信：RS-485。
电源电压：AC100～240V。
小巧机体设计，显示字体较大，即使在一段距离之外也能清晰读数，
从而显著降低了人工读数出错的风险。
温温控器采用紧凑设计风格，
因此对控制柜内安装空间的要求较低低(60mm)，
即使安装空间较为狭小，
亦可轻松快速地实现卡入式安装E5CN-HTQ2H03D-FLK指导手册E5CN-HTQ2H03D-FLK指导手册。
同时融入了欧姆龙的PID控制专利，
使其温度控制的性达到了新的标准，
其50ms的采样周期也使温度控制的迅捷性上升了一个台阶。