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E5EN-CY3BL-N使用手册欧姆龙E5EN-CY3BL-N指导手册
产品型号: E5EN-CY3BL-N
名称: 数字控制器
品牌: 欧姆龙
类别: 指导手册
文件语言: 英文/日文
尺寸:48×96mm。
本体:端子台型,温度输入型。
种类:控制输出1点型(电源AC100~240V用)。
外壳颜色:银色。
控制输出:继电器输出。
控制模式:标准或加热冷却E5EN-CY3BL-N使用手册。
辅助输出点数:3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源:单相加热器用检测功能。
事件输入点数:2点E5EN-CY3BL-N
传送输出:--。
通信:--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能,性能进一步提升E5EN-CY3BL-N使用手册。
增加PV/SV状态显示功能,方便查看温控器的状态
(自动/手动、RUN/STOP、报警发生),可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能,可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示,可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键,分配自动/手动、RUN/STOP等,可实现一键操作。本体:程序型。
尺寸:96×96mm。
类型:4输入型。
控制模式:4通道标准控制/2通道加热冷却控制。
输出(控制/传送)点数:4点(电流4点)。
输助输出(SUB)点数:10点。
事件输入点数:8点。
串行通信:RS-485。
全新推出高速、数字调节仪(程序mo在计算机上轻松设定E5EN-CY3BL-N使用手册。本体:端子台型,模拟输入型。
种类:控制输出1点型(电源AC100~240V用)。
外壳颜色:黑色。
控制输出:继电器输出。
控制模式:标准或加热冷却。
辅助输出点数:2点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源:单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数:--。
传送输出:--。
通信:RS-485。
48mm的通用温控器已升级&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能,
性能进一步提升。
E5CN-U(插入型)新增模拟输入型和电流输出型。
增加PV/SV状态显示功能,方便查看温控器的状态(自动/手动、RUN/STOP、报警发生),
可交互显示PV/SV。
增加控制输出出ON/OFF次数计数功能,可预防维护温控器内部继电器E5EN-CY3BL-N指导手册。晶圆片托架的的落座检测E5EN-CY3BL-N指导手册。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线(无滑石粉)。
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