尺寸：48×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：银色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却E5EN-CY3BL-N使用手册。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：2点E5EN-CY3BL-N
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升E5EN-CY3BL-N使用手册。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。本体：程序型。
尺寸：96×96mm。
类型：4输入型。
控制模式：4通道标准控制/2通道加热冷却控制。
输出（控制/传送）点数：4点（电流4点）。
输助输出（SUB）点数：10点。
事件输入点数：8点。
串行通信：RS-485。
全新推出高速、数字调节仪（程序mo在计算机上轻松设定E5EN-CY3BL-N使用手册。本体：端子台型，模拟输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：RS-485。
48mm的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，
性能进一步提升。
E5CN-U（插入型）新增模拟输入型和电流输出型。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SV。
增加控制输出出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器E5EN-CY3BL-N指导手册。晶圆片托架的的落座检测E5EN-CY3BL-N指导手册。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。