晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5EN-C1T-W-N基础知识。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE5EN-C1T-W-N实现了小型规格、和丰富的机种。
5.5mm小型内置放大器。
长检测距离2.5mm。工件晃动也能稳定检测。
响应频率1kHzE5EN-C1T-W-N基础知识。
低消耗电流。
种类：直流3线式。
形状：非屏蔽。
检测面：下面。
检测距离：2.5mm。
输出形式：PNP。
动作模式：NO。尺寸：72×72mm。
种类：热电偶型。
调节模式：ON/OFF动作或PID动作。
警报：单报警报。
输出：电压输出（用于驱动SSR）。
带单报警输出的温度控制器。
可同时显示SV与PV。
多重温度范围允许设定佳温度范围。
保护功能可以防止操作上的错误。类型：高温用。
测量温度范围：0～+1,000℃。
目标物尺寸：φ40mm（距离500mm时）。
无需接触工件，即可测量温度。
实现无损伤、卫生且的温度管理。
备有小光点直径φ3mm与φ8mm两种类型。+500℃），
还新增中低温（−50～+500℃）、
高温用（0～+1,000℃）机型E5EN-C1T-W-N基础知识。
新增测量距离达500mm、1,000mm的长距离型。
使用另售的编程器，可变更温度的、辐射率、
移动平均功能、输出范围。
（图片为在ES1本体上安装编程器）
端子部形状:导线直出型。
保护管直径D:φ3.2mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：一般用。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。
螺纹长度为长尺寸的接近传感器。
提升紧固强度外，还标配导线保护器。
提升指示灯的可视性，所有机型全部采用扳手夹紧用铣切切E5EN-C1T-W-N指导手册。
种类：交流2线式。
形状：屏蔽，M18。
检测距离：10mm。E5EN-C1T-W-N指导手册。
动作模式：NO。E3JK-R2S3检测方式：回归反射型带M.S.R.功能，
连接方式：导线引出型，
检测距离：2.5m。
输出状态:入光时ON；遮光时ON。
输出:DC无触点，
实现降低成本的2种类型