晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E8Y-A5C-F20H使用手册。
使用环保导线（无滑石粉）。E3T-FT22 检测方式：对射型，
连接方式：导线引出型，
输出状态：遮光时ON，
输出方式：NPN输出，
长距离光电传感器实现回归反射
型10m距离设定型2mE3Z-L61-S0SRW-E2微细光束
反射型E3FA塑料外壳E8Y-A5C-F20H
传感器类型：对射型E8Y-A5C-F20H使用手册。
检测距离：20m。
连接方式：M12接插件。
输出方式：PNP。
投光器 E3RA-TP21-L 2M。
受光器 E3RA-TP21-D 2M。种类：测温阻型。
调节模式：ON/OFF动作或PID动作。
警报：单报警报。
输出：电压输出（固态继电器驱动用）。
数位式泛用双显示电子温度控制器。
DIN 48×48mm 手动自动调谐（Manual Auto-tuning）PID控制。
双警报/单警报及测温阻种类丰富。
继电器/固态继电器（SSR驱动）系列化。
有防止误操作功能。小型旋转式编码器(外径φ20)·增量型。
机器内置用途小型1046。
实现外径φ20mE8Y-A5C-F20H使用手册。
轴形状：轴伸出。E32-CC200种类：特殊光束型；同轴/小光点，
特长：φ3圆柱，
弯曲半径(mm):R25。
标准检测物体(小检测物体)(mm) 1：(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元E32-T25XB种类：标准型；耐曲折，
特长：平面形状（小型），
形状/检测距离（mm）：180；150；85（35） ，
弯曲半径(mm):B；R4。
标准检测物体(小检测物体)(mm) 1：φ0.5(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M8，非屏蔽。
检测距离：4mm。
连接方式：M8连接器（3针）。
机身材料：不锈钢。
螺纹长度（总长度）：27(39)。
输出形式：NPN。
动作模式：NC。尺寸：48×48mm。
控制输出1：线性电流输出。
控制输出2：--。
辅助输出：独立2点。
电源电压：AC100～240V。
端子类型：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热器断线、SSR故障检测功能：--。
通信：--。
事件输入：4点。
远程SP输入：--。
传送输出：--。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选择、操作及设定简便。
输入输出点数等的功能性能充实。
支持应用范围更为广泛。
采用高15.2mm的PV显示(白色)，提高可视性。
实现50ms的高速采样。
带辅助输出(大3点)、事件输入(大44点)、传送输出、
远程SP输入功能，支持各种应用程序E8Y-A5C-F20H使用说明书。
E5CCC具有进深60mm的纤细机身E8Y-A5C-F20H使用说明书。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连
后，无需电源接线即可设定。
也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
通过组件通信可联合温控器。