电源:DC.
用途:表面端子型.
放大器单元晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架EE-SX975P-C1是什么。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mmEE-SX975P-C1
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。尺寸：48×96mm。
种类：电源AC100～240V用。
外壳颜色：银色。
控制输出1：输出单元方式EE-SX975P-C1是什么。
控制输出2：输出单元方式。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障检测功能：单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数：2点。
传送输出：传送输出（专用端子）。
远程SP：4～20mA输入。
通信：--。
通用温控器新增（高分辨率、高速、输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状
通过支持软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和）设定，
能够执行柔性的接点输出EE-SX975P-C1是什么。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M8，屏蔽。
检测距离：2mm。
连接方式：M12连接型。
机身材料：黄铜。
螺纹长度（总长度）：27(43)。
输出形式：NPN。
动作模式：NC。检测方式：扩散反射型。
连接方式：接插件型(M12)。
检测距离：红色光300mmm。
输出方式：PNP输出。检测方式：对射型。
形状：垂直模式。
连接方式：导线引出型。
检测距离：红光7m。
功能：计（定）时，涡轮，自查，外部检查。
输出方式：NPN输出。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，模拟输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SSVEE-SX975P-C1使用说明书EE-SX975P-C1使用说明书。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。