晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E3X-VG21原理及应用。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE3X-VG21尺寸：48×96mm。
控制输出1：继电器。
辅助（报警）输出：4个。
传送输出：--。
事件输入：2个。
通信：RS-485。
断线检测：1个。
电源电压：AC100～240VE3X-VG21原理及应用。
E5□C系列的程序型产品新上市。
大256段的程序容量，
支持多种应用程序。
可设定多8个程序(模式)×32段(步)的程序。
采用高25mm(E5AC-T)、18mm(E5AC-T)的PV显示(白色)，
提高可视性。
不仅在本体的顶面上，在正面上也配备了工具端口，
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连后，
无需电源接线即可设定。
也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
实现50ms的高速采样。
带辅助输出(4点)、事件输入(大6点)、传送输出，
支持各种应用程序。
进深60mm的纤细机身。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
通过组件通信可联合温控器。E3X-VG21原理及应用。
警报：单报警报。
输出：电压输出（固态继电器驱动用）。
数位式泛用双显示电子温度控制器。
DIN 48×48mm 手动自动调谐（Manual Auto-tuning）PID控制。
双警报/单警报及测温阻种类丰富。
继电器/固态继电器（SSR驱动）系列化。
有防止误操作功能。E3Z-T81A检测方式:对射型。
连接方式:导线引出式（2m）3 。
检测距离:10m。
输出方式：PNP输出。
实现小型、长距离、节省电力和
节省能源的光电传感器的标准型
温度范围：-40.0～40.0℃。
正/反动作：正动作（冷却用）。
调节模式：ON、OFF动作。
借助微电脑可实现（以0.1°C为单位）的温度控制。
与控制设备组合使用，可调整调节灵敏度。
附带便于节能运行的设定值转换功能，以及便于运行停止的控制禁止功能。控制输出：继电器输出。
辅助输出：2点。
加热断线、SSR故障检测功能：--。
事件输入：--。
通信：RS-485。
端子形状：螺钉端子台型(主单元+端子单元)。
电源电压：AC/DC24V。
E5□C系列的操作性、维持原状适合连接触摸屏/PLC和温控器的系统的DIN导轨安装型。
进深85mm×宽22.5mm的DIN导轨安装型，收纳于薄型控制柜内的纤细机身。
采用端子台拆装结构，可轻松更换，提高了维护性。
通过50ms的高速采样，适用于高速升温的用途。
通通过无程序通信轻松与PLC相连E3X-VG21指导手册。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连后，无无需电源接线即可
设定E3X-VG21指导手册。也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
带辅助输出(大2点)、事件输入(大1点)，基本功能齐全。
柜内启动时或异常时的确认简单，醒目的白色PV显示
(PV高8.5mm)。