E3F3-R82M 2M产品特点及功能介绍：
晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。尺寸：96×96mm。
控制输出1：继电器输出。
控制输出2：--。
辅助输出：3点。
通信：--E3F3-R82M 2M
加热器断线：--。
事件输入：--。
电源电压：AC/DC24V。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出，
功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛。
E5EC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性。
主体短小，厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。E3X-DA11SE-S分类：单功能型 ，
控制输出：NPN输出，
扩展传感器技术的新世纪检测平台耐水性能优异的树脂外壳型接近开关。
符合IP68，出类拔萃的保护结构。
防止相互干扰（备有异频型）。
种类：屏蔽，M12。
检测距离：2mm。
输出形式：交流2线式。
动作模式：NC。可检测非金属物体通用螺纹安装型。
通用螺纹切削式静电容量型。
备有M12、 M18、 M30型。
检测距离固定的无调整型。
形状：非屏蔽，M30。
检测距离：15mm。
输出形式：交流2线式。
动作模式：NC。E5CN、E5EN、E5AN、E5ZN、E5□R用软件。
能缩短参数设定、装置调整、维护的时间。
能用计算机编制、编辑和下载全部参数。
能减少参数设定的工时。
在线功能。
多能同时31 台的数据。
（但是于同一系列的温控器）。
参数掩码（不显示不使用的参数）功能。
（E5_N、E5_R）
与CX-Programmer同时启动并一起使用，
能共享CX-Programmer所使用的文件夹。
配置有仅通过单元编号就能自动检索型号的功能及，
趋势连接功能（自动巡视功能）。端子部形状:端子露出型。
保护管直径D:φ15mm。
元件种类：J（IC）。
保护管长度L：100cm。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。尺寸：48×48mm，端子台型。
种类：控制输出2点型（电源AC100～ 240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：电压输出（SSR驱动用）。
控制输出2：电压输出（SSR驱动用）。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器断线、 SSR故障检测功能：单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：RS-485。
新增程序型。
采用大256段程序容量，较高性价比的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
可设定多8个程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位显示/可显示0.01°C（实现了48×48mm的小尺寸）。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），
1台机器支持多种传感器。
增加PV/SV状态显示功能，方便便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/RESET、报警发生），
可交互显示PV/SV。
通过支持持软件（CX-Thermo Ver.4.3），
在简易运算功能（AND/OR逻辑和）。
设定中轻松设定能够执行柔性的接点输出的程序设定。
控制输出ON/OFF次数计数功能可预测温控器内部继电器的故障。
E3F3-R82M 2M操作手册/说明书/选型样本下载地址: /searchDownload.html?Search=E3F3-R82M 2M&select=5