晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式欧姆龙E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用环保导线（无滑石粉）。小巧机体设计，显示字体较大，即使在一段距离之外也能清晰读数，
从而显著降低了人工读数出错的风险E2E-X1R5F1-M3-Z
温控器采用紧凑设计风格，
因此对控制柜内安装空间的要求较低(60mm)，
即使安装空间较为狭小，
亦可轻松快速地实现卡入式安装。
同时融入了欧姆龙的PID控制专利，
使其温度控制的性达到了新的标准，
其50ms的采样周期也使温度控制的迅捷性上升了一个台阶欧姆龙E2E-X1R5F1-M3-Z。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D:φ1mm。
保护管长度L：15cm。
导线种类：耐热用。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件欧姆龙E2E-X1R5F1-M3-Z。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。
E3FA塑料外壳。
传感器类型：BGS型(背景型)。
检测距离：200mm。
连接方式：M12接插件。
输出方式：PNP。种类：非屏蔽型。
形状：φ6.5欧姆龙接近传感器(标准型)。
检测距离：2mm。
连接方式：导线引出型(2m)。
导线规格：PVC（耐油）。
动作模式：NO。
接线颜色/插针配置：褐：+V 黑：输出；蓝：0V。
输出类型：PNP输出。
小型接近传感器，安装异常“轻松”!
E2E 小径型使用更方便。可减少设备从启动到保养的安装调整工时。
检测距离以往的1.5倍定位调整“轻松”欧姆龙接近传感器(标准型)。
为了实现稳定检测，推荐检测距离×0.7以内的设置。
指示灯4处位置调节“轻松”。
若使用专用安装配件，设计也“轻松”。尺寸：48×48mm。
控制输出1：电压输出(SSR驱动用)欧姆龙接近传感器(标准型)。
控制输出2：电压输出(SSR驱动用)。
辅助输出：--。
电源电压：AC/DC24V。
端子类型：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热器断线、SSR故障检测功能：--。
通信：--。
事件输入：--。
远程SP输入：--。
传送输出：--。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选择、操作及设定简便。
输入输出点数等的功能性能充实。
支持应用范围更为广泛。
采用高15.2mm的PV显示(白色)，提高可视性。
实现50ms的高速采样。
带辅助输出(大3点)、事件输入(大4点点)、传送输出、
远程SP输入功能，支持各种应用程序E2E-X1R5F1-M3-Z。
E5CCC具有进深60mm的纤细机身欧姆龙E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连
后，无需电源接线即可设定。
也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
通过组件通信可联合温控器。