晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式欧姆龙E3S-AD12。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ONE3S-AD12
导线长：2m。检测方式：对射型。
形状：水平模式。
连接方式：导线引出型。
检测距离：红光7m。
输出方式：PNP输出。端子部形状:端子露出型。
保护管直径D:φ6.4mm。
元件种类：J（CA）。
保护管长度L：50cm欧姆龙E3S-AD12。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。尺寸：48×96mm。
控制输出1：线性电流输出欧姆龙E3S-AD12。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：2点。
通信：RS-485。
加热器断线：--。
事件输入：2点。
电源电压：AC/DC24V。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出，
功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛。
E5EC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性欧姆龙放大器内藏光电开关（中型）。
主体短小，厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。尺寸：48×96mm。
控制输出：继电器输出。
辅助输出：2点。
通信：--。
加热器断线：--欧姆龙放大器内藏光电开关（中型）。
事件输入：--。
电源电压：AC/DC24V。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出，
功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛欧姆龙放大器内藏光电开关（中型）。
E5EC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性。
主体短小，厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。尺寸：48×96mm。
控制输出1：电压输出。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：2点。
通信：RS-485。
加热器断线：1点。
事件输入：2点。
电源电压：AC100～240V。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出，

功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛E3S-AD12。
E5EC-800的白光LCCD-PV显示屏高度约为18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性欧姆龙E3S-AD12。
主体短小，厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。