品名：微粒测量型0.3μm/0.5μm/1.0μm或以上。
电源：DC电缆。
常时监视影响产品质量的灰尘和微粒。
适宜常时测量的紧凑设计。
搭载LAN端口等多种I/F欧姆龙Z-10FQY-B。
测量浮游的微粒。
1台传感器既可测量粗粒，又能调查尘源。同级高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电Z-10FQY-B
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。内置开关：SPDT(AC)。
驱动杆：一般型，滚珠柱塞型。
导管/接地端子：G 1/2/无接地端子。
安装：直角侧面安装。
具有高断路容量和高耐用性的一般型封闭式开关欧姆龙Z-10FQY-B。
Z一般型基础开关内置到ZE、ZV和ZV2开关中。它们提供了高断路容量和高耐用性。
带磁吹的X基础开关内置到XE、XV和XV2开关中。该系列还增加了DC型号。
提供了三种安装方法（侧面、基座和直角侧面）及许多类型的驱动杆。
保护盖取下后，内藏开关的端子在正面，易于连接欧姆龙Z-10FQY-B。
带接地端子的开关具有CE标志。
通过UL、CSA和CCC （中国标准）规格认证。 分类：标准型。
接点间隔：G(0.5mm)。
驱动杆：短摆杆型。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种欧姆龙一般用基本微动开关。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。种类：工作站部。
品名：工作站部。
电源：电池/DC电缆。
测量生产线及装置周边的温度、
湿度群的测量，搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统欧姆龙一般用基本微动开关。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），
可实时以波形、平面图的形式显示检测数据。监测2波长的等离子发光量。
实现了、小型化、低价格欧姆龙一般用基本微动开关。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。连接方法：接插件中继型。
电缆长度：0.5m。
检测距离：100正负35mm。
输出方式：PNP输出。
0.002mmm的分辨率，适合简单测量Z-10FQY-B。
测量结果稳定，适用于任何类型的工件。
多种型号，，具有共四种不同距离规格欧姆龙Z-10FQY-B。
长距离型号，高可达1000mm。光学系统：正反射型。
检测距离：25正负2mm。
光束形状：线光束。
光束直径：2.2mm×45µm。
分辨率：0.6µm。
电缆长度：2m。