监测2波长的等离子发光量。
实现了、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格欧姆龙Z-15GD-B。种类：透镜单元。
产品名称：聚光透镜。
详情：聚光直径 φ3mm。
UV-LED照射器的成本革命Z-15GD-B
热损伤较小的UV-LED照射。
照射头装有大幅度提高了亮度的新UV-LED。
通过增强照度缩短了粘合节拍。
采用40,000小时*长寿型LED，大幅降低运行成本。
与原有灯泡 (LAMP) 方式相比，实现约1/8的紧凑本体欧姆龙Z-15GD-B。
搭载可简单、准确设定的彩色液晶显示器。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：短摆杆型。
端子的种类：螺丝端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种欧姆龙Z-15GD-B。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：弹簧柱塞型，OP小。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关欧姆龙一般用基本微动开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。测量范围：40正负6mm。
光点直径：φ80µm
静态分辩率：0.08µm欧姆龙一般用基本微动开关。
注：订购时，请光纤长度 （0.3m、 2.0m）。ZFV-R1020 传感器头：窄视野，
放大器单元：标准型，
型号：NPN
通过智能传感器与视觉技术的结合
来拓宽视野分类：防滴型，微小负载欧姆龙一般用基本微动开关。
接点间隔：H (0.25mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：弹簧短柱塞型。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分分割接触型、维持接触型等丰富品种Z-15GD-B。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型欧姆龙Z-15GD-B。空气净化单元。
适用：410mm。
电源规格：DC24V。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸。