电缆长度：10米光学系统：正反射型。
检测距离：20正负1mm。
光束形状：线光束。
光束直径：900mm×25µm。
分辨率：0.25µm。
电缆长度：2m欧姆龙ZUV-L3S。监测2波长的等离子发光量。
实现了、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测ZUV-L3S
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：反向动作滚珠摆杆型。
端子的种类：螺丝端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关欧姆龙ZUV-L3S。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。分类：微小负载。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：弹簧短柱塞型欧姆龙ZUV-L3S。
端子的种类：焊接端子。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型欧姆龙UV-LED照射器。光学系统：漫反射型。
检测距离：130正负15mm。
光束形状：线光束。
光束直径：600mm×70µm。
分辨率：3µm。
电缆长度：2m。电源电压：DC24V。
控制输出：PNP输出。空气净化单元。
适用：410mm。
电源规格：空气净化单元供电。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化欧姆龙UV-LED照射器。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸。驱动杆：短滚珠摆杆型。
小型、封闭式开关。
带内置标准型开关的小型、封闭式开关，
确保高可重复性和耐久性，操作次数少10000000次。
安装间距与Z标准型开关相同欧姆龙UV-LED照射器。
与传统限位开关相比，所需操作力更小。
产品系列中包含带操作指示灯的型号，易于维护和检测。
通过EN、UL、CSA和CCC （中国标准）标准认证。分类：微小负载。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：弹簧细柱塞型。
端子子的种类：螺丝端子ZUV-L3S。
以和丰富品种著称畅销的基本型开关。
断路容量达155A，且精度高欧姆龙ZUV-L3S。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。