欧姆龙
按钮型光电传感器
EE-SA701系列/EE-SA801系列
共有 6 个型号

通过按钮型检测方式的采用，能准确检测以往难以检测的物体。 符合半导体FOUP盒规格，不受地面材质、颜色、反射率的 影响， 准确检测FOUP盒的落座情况。 薄型设计可实现搬运臂上的搭载。

欧姆龙
液位传感器
EE-SPX613

带输出动作切换功能及灵敏度切换功能，使用更方便的液位传感器。 输出动作切换功能能让模式设置随心所欲。 灵敏度切换功能适用于φ6～13mm、厚度1mm的透明、半透明导管。

欧姆龙
晶圆片托架落座传感器
EE-SPY801

晶圆片托架的落座检测。 通过与导槽并用的方式设定落座位置。 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。

欧姆龙
晶圆片托架落座传感器
EE-SPY802

晶圆片托架的落座检测。 通过与导槽并用的方式设定落座位置。 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。